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超精密制造
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超精密制造能力展示
2022-01-19 11:18:00
已建成22000m2的研發及生產基地,包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測量車間,2820㎡的精密/超精密加工車間,2110㎡的精密裝校車間,約2100㎡的光電...
基于整形環形光的橫向超分辨共焦顯微成像方法
2022-01-19 11:14:22
研究目的:構建一種具有橫向光學超分辨成像特性的新型共焦顯微成像特性,解決光束合理整形問題并突破衍射極限,實現一種具有橫向光學超分辨能力的共焦顯微成像技術?;驹?..
基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉基準技術
2022-01-19 11:12:58
研究目的:研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉基準,解決傳統氣浮回轉基準承載能力小、剛度低、抗擾動能力差等問題,以期進一步提高氣浮回轉基準的回轉精度...
基于多孔徑干涉拼接的深度非球面測量技術
2022-01-19 11:11:42
研究目的:研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術,解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題,實現局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。...
基于微光學陣列的多光斑可控并行激光直接寫入技術
2022-01-19 09:41:14
研究目的:研究一種多點并行曝光、且曝光面上各曝光點曝光可控及曝光強度宏微雙重可調的高分辨力的激光直接寫入新技術,以解決傳統激光直寫單點曝光制作效率低的問題,提高...
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