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        超精密單軸氣浮轉臺

        產品型號:HUE-ZT1032

        產品名稱:超精密單軸氣浮轉臺

        徑向回轉精度0.1μm

        角回轉精度0.3μm

        工作臺平面度15μm

        工作臺面跳動20μm











        解決方案










        視頻展示

        • 詳細信息
        • 產品概述


        一.產品簡介

        HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統與整機裝配測試等。

        H400高精度轉臺-裝配3.png

        二.規格與工作特性

        臺面直徑范圍為φ200mm一φ600mm,設計有T型槽或固定孔的臺面形式,特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kg。

        三.結構與工作特性

        HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉臺采用多項發明專利技術,進行超精密~高剛度結構設計和氣體潤滑與支承參數設計,使轉臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉精度及高剛度特性;轉臺工作狀態平穩,在運動和定位狀態下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。


           
           四.控制特性


        該轉臺分為有驅動和無驅動兩種,有驅動的控制指標可按下述數據選配。

        守置誤差:0.2V”

        角分辨率0.01-2”

        重復性0.1-1”

        率規范±0.030/S±1500/S

        速率波動性0.5%~1%


        五.使用條件


        電壓:220或380v交流電壓,50Hz

        氣源:0.4-0.5MPa的過濾干燥空氣

        溫度:20°C±5°c

        濕度:<60%

        上一篇機械轉臺2021-11-11
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