型號：HUE-VS0810
最小開口：0.2*0.2mm
X向行程：±22mm
Y向行程：±30mm
Y方向運動速度：0.8m/s
運動誤差：±0.03mm
解決方案
視頻展示
一.產品簡介
VS部件實現調整光刻機光學系統中的光源現場尺寸以及視場內光強的均勻性。要求刀片掃描運動與掩膜臺掃描運動同步。
二.設計原則
模塊化設計原則：根據功能分解，確定模塊結構，集成化設計，須便于集成前的模塊離線測試。
輕量化原則：在滿足強度及模態需求情況下，降低質量，減輕對電機出力的需求。
質心匹配原則：電機驅動質量與驅動力盡可能在同一平面實現質心驅動，可減小附加轉矩。
尺寸約束原則：在滿足接口尺寸要求條件下，合理布局，盡可能平衡各預留尺寸。
易于裝調原則：在設計階段考慮裝調測試，以減小工裝設計和裝調的難度。
硬件安全原則：運動部件必須有安全防護裝置及限位，首選機械方式，其次電氣及軟件方式。
三.產品規格
需求名稱 | 指標 | |
行程需求 | VS最小開口 | 0.5mm*0.5mm |
X向行程 | 總行程±22mm,其中功能行程±20mm | |
Y向行程 | 總行程±30mm，其中功能行程±28mm | |
Y方向運動特性 | VS運動誤差(動態) | ±0.03mm |
刀片形貌誤差 | 0.02mm | |
刀片熱變形影響 | 0.02mm | |
刀片刀口刃厚度 | ≤0.lmm | |
加速度(驗收指標) | 5g | |
加速度(設計目標) | 6g | |
速度(驗收指標) | 0.6m/s | |
速度(設計目標) | 0.8m/s | |
加速穩定時間(驗收指標) | <8ms | |
加速穩定時間(設計目標) | <6ms | |
反向沖擊力 | <40N | |
X方向運動特性 | VS運動位置誤差 | ±0.02mm |
刀片形貌誤差 | 0.02mm | |
刀片熱變形影響 | 0.02mm | |
刀片刀口刃厚度 | ≤0.1mm | |
加速度 | 2g | |
速度 | 0.5m/s | |
設定時間 | 90ms,運動距離10mm | |
刀口位置 | 四個刀口共面 | ≤0.1mm |
相鄰刀片斜面距離 | ≤0.1mm | |
X方向刀片相對安裝基準面垂直度(全運動行程內) | <0.02mm | |
Y方向刀片相對安裝基準面平行度(全運動行程內) | <0.02mm | |
壽命 | 7年 | |
MTBF | 平均無故障時間 | >10000h |
